窄跡晶圓的特性
在晶圓切割環(huán)節中,經(jīng)常遇到的較窄跡道(street)晶圓,要求將每一次切割放在跡道中心幾微米范圍內。雖然目前有激光切割、等離子切割等方式,理論上可以實(shí)現窄跡晶圓的切割,但是考慮到技術(shù)成熟度不高、適用產(chǎn)品范圍小、設備價(jià)格高等方面因素,應用金剛石劃片刀仍是最優(yōu)的選擇。這就要求切割設備具備更高的精度和更先進(jìn)的對準運算,以及厚度盡可能薄、剛性更強的刀片。
當切割窄跡道晶圓時(shí),常見(jiàn)的一種推薦是,選擇盡可能最薄的刀片。但是,很薄的刀片是非常脆弱的,更容易過(guò)早破裂和磨損,結果,其壽命期望和工藝穩定性都比較厚的刀片差。這對刀片品質(zhì)以及合適的切割方案有較高的要求。
一般對于50~76μm跡道的晶圓推薦厚度為20~30μm的刀片,40~50μm跡道的晶圓推薦厚度為15~20μm的刀片。
案例實(shí)錄
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測試目的
1、測試切痕寬度
2、測試切割品質(zhì)
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材料情況
切割產(chǎn)品 | mos晶圓 |
產(chǎn)品尺寸 | 8寸 |
產(chǎn)品厚度 | 200μm |
膠膜類(lèi)型 | UV膜 |
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工藝參數
切割工藝 | 單刀切透 |
設備型號 | DAD322 |
主軸轉速 | 26K rpm |
進(jìn)刀速度 | 30mm/s |
刀片高度 | CH1:0.055 |
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樣刀準備
SSTYE SD-4000-R-50-CBA
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樣刀規格
刀片型號 | 4000-R-50 CBA |
金剛石粒度 | 4000# |
結合劑硬度 | R(硬) |
集中度 | 50 |
刀片厚度 | 0.018mm |
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測試結果
1、切痕寬度在21~22.3μm之間,切痕
穩定,符合工藝要求。
2、正面無(wú)明顯崩邊。
崩邊效果 刀痕效果