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本文討論超純水和CO2起泡器對硬刀的影響。我們生產(chǎn)過(guò)程中為了防止硅IC加工時(shí)產(chǎn)生靜電，通常使用CO2起泡器去除靜電。 根據CO2起泡器的電阻率，切割水有時(shí)會(huì )對刀刃（接合部）產(chǎn)生腐蝕，導致無(wú)法進(jìn)行穩定的加工。

下面我們通過(guò)三組實(shí)驗來(lái)對比看看超純水和CO2起泡器對刀片的影響。

* 超純水電阻率：18MΩ·CM

一、實(shí)驗條件的設定

二、不同條件下的實(shí)驗結果

1. 正常刀片表面情況

2. 第一組實(shí)驗，72小時(shí) 空轉 超純水

實(shí)驗結果：

鋁（輪轂）被腐蝕，溶出的鋁粘附在刀刃上。刀刃的機器側被輕微腐蝕，刀片的操作側沒(méi)有被腐蝕，因為它被氧化鋁覆蓋。

PS：超純水（16MΩ.cm 或更高，雜質(zhì)為 1ppb 級）被稱(chēng)為饑餓水，接觸材料會(huì )發(fā)生 ppb 級的洗脫

3. 第二組實(shí)驗， 72小時(shí) 空轉 超純水+CO2起泡器

實(shí)驗結果：

鋁（輪轂）被腐蝕，刀刃（機器側+操作側）都被腐蝕。

PS: PH值4-8之間鋁（輪轂）不會(huì )被腐蝕，但是鎳基體在PH值低于6（含）就會(huì )被腐蝕。

4. 第三組實(shí)驗 72小時(shí) 持續切割 03 超純水+CO2起泡器

實(shí)驗結果：

鋁（輪轂）和刀刃（機器側+操作側）都沒(méi)有被腐蝕。

原因：加工硅時(shí)產(chǎn)生的污染物（切削粉塵）粘附在刀片上，從而使刀片被 SiO2薄膜覆蓋。

建議：如果長(cháng)時(shí)間不進(jìn)行加工，請停止切割水。 尤其是當使用輔助起泡器時(shí)，即使pH值在6左右，刀片在空轉過(guò)程中也可能被腐蝕。因此，長(cháng)時(shí)間等待過(guò)程中，應關(guān)閉切割水。

三、總結

空轉狀態(tài)指的是在實(shí)際開(kāi)始加工之前，同時(shí)開(kāi)啟主軸和切割水大約 30 分鐘的待機狀態(tài)。 這樣做是為了能夠以穩定的精度操作機器（暖機）。

更換刀片后，請務(wù)必在安裝前將主軸空轉 10 分鐘。 如果空轉（暖機時(shí)間）不足，安裝位置可能會(huì )有偏差。