在半導體晶圓封裝的早期階段,切割刀是切割晶圓和制造芯片的重要工具,直接影響芯片的質(zhì)量和壽命。
因為芯片的微型化、量大、效率高,芯片構造越來(lái)越復雜,芯片之間的空間愈來(lái)愈小,切割空間越來(lái)越窄。所以,精密晶圓切割刀的技術(shù)標準越來(lái)越高。
現在,切割晶圓有兩種方法:一種是激光切割,另一種是機械切割,后一種是當前切割晶圓的重要形式。原因有以下:
(1)激光切割不能使用大功率,以免在熱影響區損壞芯片。
(2)激光切割設備很昂貴,
(3)激光切割不能完全切割,所以第二次切割最終還是需要切割機刀片完成,因此切割機刀片是半導體封裝過(guò)程中長(cháng)期不可缺少的材料之一。
大多數硅基集成電路和設備產(chǎn)品在封裝時(shí)需要用切割機刀片切割。過(guò)去20多年,全球經(jīng)濟和半導體行業(yè)的數據表明,半導體集成電路及設備市場(chǎng)年增長(cháng)率和全球增長(cháng)率GDP年增長(cháng)率同步,所以對切片刀的要求也在逐年遞增。