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  隨著(zhù)終端電子設備的多功能化，在智能化和小型化方向上，芯片尺寸越來(lái)越小，給予晶圓切割機的空間越來(lái)越小。針對晶圓切割刀以及切割工藝，不但要確保充足的產(chǎn)量，還要確保加工效率。

就劃片刀本身的制造而言，影響刀片特性甚至晶圓劃片的有幾個(gè)因素，本文重點(diǎn)分析這些因素的影響作用，幫助大家合理選擇刀具。

  一、金剛石顆粒大小的影響

金剛石是切割加工的關(guān)鍵，分離劑的關(guān)鍵是粘結金剛石的效果。不同顆粒大小的金剛石對分割質(zhì)量的影響相對明顯。大顆粒金剛石的沖擊力較大，工件產(chǎn)生的裂紋較大；

根據研磨原理的特點(diǎn)，金剛石顆粒的規格越多，對晶圓的影響就越大，導致正面塌陷的規格就越多。金剛石顆粒規格越多，刀片阻塞的概率越低，能有效降低商品背面的坍塌。小顆粒金剛石的沖擊力較小，正面塌陷的規格較低。

  可是這個(gè)原則只是針對300um在2000年解決左右或以上厚度的晶圓μm在下列極薄晶圓中，大顆粒金剛石的沖擊力很大，薄晶圓不能接受較大的沖擊力。這時(shí)有必要挑選小顆粒金剛石，以保證更好的標識品質(zhì)。金剛石顆粒的大小除了劃片的質(zhì)量外，還會(huì )影響刀片的壽命。顆粒越多，刀片壽命越長(cháng)；顆粒越低，刀片壽命越短。

  二、分離劑強度的影響

  分離劑作用是將金剛石牢固粘在一起，不同硬度的分離劑對葉子的壽命有很大影響。柔性分離劑可以加速金剛石顆粒的速度“自身尖銳”使劃片刀始終處于尖銳狀態(tài)，可以減少晶圓的正面塌陷、分層和毛邊問(wèn)題。硬分離劑能夠更好的控制金剛石顆粒，提升刀片的耐磨性，提升刀片的使用期。缺乏柔性分離劑是縮短刀片壽命，缺乏硬分離劑是劃片產(chǎn)品質(zhì)量差。

  三、影響刀片厚度

         1）刀片厚度：一是刀片振動(dòng)小、保證產(chǎn)品質(zhì)量；二是刀片強度；三是刀片強度；不易斷刀；第四劃片接觸面積大、阻力大、產(chǎn)生的碎渣多、進(jìn)給速度慢、易污染。

         2）刀片?。阂皇莿澠佑|面積小、阻力小、進(jìn)給速度快；二是刀片振動(dòng)??；保證產(chǎn)品質(zhì)量；第三，刀片強度弱、易斷刀。

  四、影響刀片長(cháng)度

       1）刀片長(cháng)度：一是使用壽命長(cháng)；二是刀片強度弱；、進(jìn)給速度慢

       2）刀片短：一是利用周期短；二是刀片強度強度、進(jìn)給速度快、不易斷刀；第三，振動(dòng)小質(zhì)量好。

  五、修刀環(huán)節的影響

  修刀的效果是暴露刀片表面的金剛石，調整刀片和輪圈、法蘭的偏心量。當新刀設備在主軸和法蘭上時(shí)，盡管刀片與主軸頂端觸碰，但兩者之間仍有空隙，這是刀片的“偏心”。

如刀片在“偏心”在這種情況下，只要刀片部分工作，負載太大，容易產(chǎn)生逆刀和負載表明，影響產(chǎn)品品質(zhì)。

  選擇合適的刀片做為既定的切割材料，以均衡刀片的壽命和切割品質(zhì)。高壽命，降低質(zhì)量；高質(zhì)量，降低壽命。在選擇刀片時(shí)，我們還應該了解刀片表面硬度的影響。刀片的表面硬度通常稱(chēng)為基材強度?；膹姸韧ㄟ^(guò)金剛石規格、濃度和粘合劑強度決定。一般來(lái)說(shuō)較細的磨料規格、較高的金剛石濃度和較硬的粘合劑將獲得相對增加的基底強度。一般提倡與其他因素綜合考慮，硬數據要求軟（基底）刀片切割，相反。此外，主軸轉速、膜、冷卻水、刀片方法等也可能影響刀片的選擇。